分子束外延殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀
用于泄漏探測、趨勢分析、真空診斷的過程監(jiān)測和殘余氣體的精確分析。
該分子束外延特定分析質(zhì)譜儀由兼容性材料組成,并能在分子束外延環(huán)境中*使用。
·鉬銅布線增加MBE環(huán)境下系統(tǒng)的壽命
·抗污染離子源護(hù)罩
·雙法拉第/ channelplate電子倍增器
·質(zhì)量數(shù)范圍: 1~300 amu
·掃描速度: 100amu
分子束外延殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀
用于泄漏探測、趨勢分析、真空診斷的過程監(jiān)測和殘余氣體的精確分析。
該分子束外延特定分析質(zhì)譜儀由兼容性材料組成,并能在分子束外延環(huán)境中*使用。
·鉬銅布線增加MBE環(huán)境下系統(tǒng)的壽命
·抗污染離子源護(hù)罩
·雙法拉第/ channelplate電子倍增器
·質(zhì)量數(shù)范圍: 1~300 amu
·掃描速度: 100amu