產品特點
適用于半導體、光電元件、能原材料、通訊產品、機電產品等作無氧化干燥、固化、焊接、退火等高溫處理。 封裝測試;所有的Lead PKG、BGA、MCM;光刻工藝有機聚合物膜預固化、堅膜;銀漿固化、模后固化、電鍍退火;基板除潮、晶圓干燥退火等。
技術參數
1.名稱及型號:無氧烘箱
2、主要技術指標:
2.1含氧量:< 50ppm;
2.2溫度范圍: RT(室溫)+60~ +300℃;
2.3溫度均勻度:±1.5%;
2.4溫度波動度:±0.5℃(空載)
2.5溫控精度:±0.1℃;
2.6烘箱擱板為活動形式。
2.7電源:380V 3φ 50HZ 7KVA
箱體結構:
3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱及風道系統(tǒng)部分組裝而成,結構合理,外觀美觀大方;
3.2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產生器,防機臺本身產生微塵;
3.3箱體材料:外箱采用 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵;
3.4內膽材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE;
3.5中桶材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。
3.6 保溫材料:硅酸鋁棉;
溫控系統(tǒng)
4.1控制器采用8段微電腦溫度控制器,具有PID控制參數自動整定功能。
4.2溫度測量:采用特制鍇裝鉑電阻;
完善的安全保護措施:
漏電斷路器
超溫保護
欠相保護
馬達過載電流保護
機臺異常蜂鳴器警示
選購設備:
6.1 可程式溫控器
6.2六點溫度記錄儀
6.3三色指示燈
6.4烘烤架