美國BROOKS布魯克斯公司熱式質(zhì)量流量計是為了滿足有關(guān)工藝過程中對測量精度、重復(fù)性和控制方面的要求而設(shè)計的產(chǎn)品。它與傳統(tǒng)的體積流量儀器截然不同,BROOKS質(zhì)量流量計通過被測氣體的比熱來測量流量,不受溫度、壓力變化的影響。因此該產(chǎn)品在各種不同的工作環(huán)境下均有較高的精度。被測流量可設(shè)計成質(zhì)量或體積單位。此外,所有BROOKS INSTRUMENT質(zhì)量流量計產(chǎn)品都能同現(xiàn)有的工業(yè)儀表兼容,安裝簡便。
常用型號有:5850E、5850I 、5851E,SLA5850S,SLA5851S,SLA5853S
其他型號:
5861E質(zhì)量流量計
5863E質(zhì)量流量計
5853E質(zhì)量流量控制器
5965質(zhì)量流量控制器
5964質(zhì)量流量控制器
4860質(zhì)量流量計
4850質(zhì)量流量控制器
5863S質(zhì)量流量計
5861S質(zhì)量流量計
5860S質(zhì)量流量計
5853S質(zhì)量流量控制器
5851S質(zhì)量流量控制器
5850S質(zhì)量流量控制器
5850i質(zhì)量流量控制器
SLA7860質(zhì)量流量計
SLA7850質(zhì)量流量控制器
SLA7960質(zhì)量流量計
SLA7950質(zhì)量流量控制器
B950質(zhì)量流量控制器
SLAMF63質(zhì)量流量計
SLAMF61質(zhì)量流量計
SLAMF60質(zhì)量流量計
SLAMF53質(zhì)量流量控制器
SLAMF51質(zhì)量流量控制器
SLAMF50質(zhì)量流量控制器
SLA5863質(zhì)量流量計
SLA5861流量計
SLA5860流量計
SLA5853質(zhì)量流量控制器
SLA5851流量控制器
SLA5850質(zhì)量流量控制器
SLAMF60_防爆型數(shù)模橡膠密封質(zhì)量流量計(30C51L)布魯克斯/Brooks氣體質(zhì)量流量控制器和流量計廣泛應(yīng)用于:真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入,直拉式晶爐,精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過程控制器、大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設(shè)備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。?數(shù)模橡膠密封;流量范圍:0.003-30 slpm;耐壓:100 Bar精度:±1.0% of rate(20%-**** FS);±0.2% FS(below 20% FS);±1.0% of FS(1100-2500 slpm)