日本理研氣體濃度檢測(cè)儀GD-70D功能介紹
顯示內(nèi)容:氣體濃度、流量大小、通訊狀態(tài)、熱分解器狀態(tài)、檢測(cè)氣體名稱(chēng)、故障代碼、故障內(nèi)容
自 檢:系統(tǒng)故障、傳感器故障、流量故障、通訊故障
數(shù)據(jù)下載:事件歷史、報(bào)警歷史、校正歷史、報(bào)警趨勢(shì)曲線(一段報(bào)警前后180秒)
工作環(huán)境:電源DC24V±10%;0~40℃,30~70%RH無(wú)凝結(jié)
尺寸重量:70(W)×120(H)×150(D)mm,0.9kg
優(yōu)勢(shì)特點(diǎn):對(duì)應(yīng)所有檢測(cè)方式的公共平臺(tái)(主機(jī)單元、傳感器單元、泵單元);通用主機(jī)單元(兼容所有傳感器類(lèi)型);多功能傳感器單元(新型智能傳感器);主機(jī)單元內(nèi)部無(wú)氣管/泵單元無(wú)線圈;在前面開(kāi)蓋拆裝/無(wú)需工具/易于更換傳感器單元和泵單元;不同通訊方式可選(4-20mA,NT,PoE);現(xiàn)有單元升級(jí)簡(jiǎn)單;小的維護(hù)成本;環(huán)保,符合標(biāo)準(zhǔn)。
典型應(yīng)用:半導(dǎo)體、液晶、太陽(yáng)能電池等微電子制造工廠,特種氣體生產(chǎn)、運(yùn)輸、儲(chǔ)存、使用等場(chǎng)合
日本理研氣體濃度檢測(cè)儀GD-70D詳細(xì)參數(shù)
GD-70D傳感器類(lèi)型有:ESU(定電位電解式)、SGU(半導(dǎo)體式)、SSU(熱分解粒子式、OSU(原電池式)、NCU(新陶瓷式),檢測(cè)氣體及量程如下:
OSU:O2,0~25%vol
NCU:CH4、H2、i-C4H10,0~LEL
SSU:TEOS、TMS、TRIMOS,0~15ppm
SGU:H2,0~500/1000/2000ppm;CH4、C3H8,0~2000/5000ppm;CH3OH,0~1000/2000ppm;C2H2Cl2,0~600ppm;CH2Cl2、CH3CHOHCH3、R-32、R-41、COS,0~2000ppm
ESU:NH3,0~75ppm;AsH3,0~0.2ppm;Br2,0~1ppm;CO,0~75/150/300ppm;Cl2,0~1.5/3ppm;ClF3,0~0.6ppm;B2H6,0~0.3ppm;Si2H6,0~15ppm;(CH3)2NH,0~15ppm;(CH3CH2)2NH,0~15ppm;F2,0~3ppm;GeH4,0~0.8ppm;HBr,0~6/9ppm;HCl,0~6/15ppm;HF,0~3/9ppm;H2Se,0~0.2ppm;CH3NH2,0~15ppm;NO,0~100ppm;NO2,0~15ppm;NF3,0~30ppm;O3,0~0.6ppm;PH3,0~1ppm;SiH4,0~15ppm;SO2,0~6ppm;(CH3)3N,0~15ppm;SbCl5、AsCl5、AsCl3、BCl3、SiH2Cl2、GeCl4、MoCl5、POCl3、PCl5、PCl3、SiCl4、SnCl4、SiHCl3、WCl6,0~6/15ppm;AsF5、AsF3、BF3、MoF6、PF5、SiF4、SF4、WF6,0~3/9ppm;BBr3,0~6/9ppm