六軸并聯(lián)定位臺是利用電磁驅(qū)動技術(shù)以滿足一類納米級超精密運動與定位載物臺的產(chǎn)品的定制需求。市場與技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域聚焦于納米至百納米級精度尺度的定位與運動實現(xiàn)，如晶元檢測、無掩模光刻、激光加工、激光刻蝕等。
六軸并聯(lián)定位臺特點：
六自由度高精度并聯(lián)運動
無軸間運動串擾和誤差累計
低運動慣量，高結(jié)構(gòu)剛度
可自由設(shè)定旋轉(zhuǎn)中心
特殊設(shè)計可承受1000公斤以上負載
| 其它特性 | |
| 工作溫度(℃) | +5~+40 |
| 材料 | 鋁，銦鋼，陶瓷，不銹鋼 |
| 運動臺面(mm) | Φ70 |
| 中孔(mm) | Φ32 |
| 中間位置高度(mm) | 68 |
| 質(zhì)量(kg) | 505 |
| 線長(m) | 1.2 |
| 可選項 | 用戶可以定制平臺面;更大行程；真空兼容；無磁應(yīng)用；尺寸可擴展 |
| 控制器 | |
| 控制類型 | CAPELLA |
| 接口 | Ethernet，USB，串口（RS-232） |
| 輸出功率 | 110-240 VAC/ 50-60Hz |
技術(shù)參數(shù)：
| 線性行程 (X, Y, Z) | ±27.5 mm, ±25 mm, ±14mm |
| 角度行程 (Θx, Θy, Θz) | ±11.5°, ±10.5°, ±19° |
| zui小增量運動 (X, Y, Z) | 0.1 µm, 0.1 µm, 0.05 µm |
| zui小增量運動 (Θx, Θy, Θz) | 0.00005° (0.8 µrad), 0.00005°, 0.0001° |
| 重復(fù)性 (X, Y, Z) | 0.2 µm, 0.2 µm, 0.1 µm |
| 重復(fù)性 (θx, θy, θz) | 0.0001°, 0.0001°, 0.0002° |
| zui大速度 (X, Y, Z) | 12 mm/s, 10 mm/s, 5 mm/s |
| zui大速度 (Θx, Θy, Θz) | 8 °/s, 8 °/s, 16°/s |
| 負載 | 6 kg |
上海納動納米位移技術(shù)有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機械、精密驅(qū)動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā)，并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案，滿足于國內(nèi)外市場對超精密納米級定位及運動控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。
上海納動納米位移技術(shù)有限貴公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉(zhuǎn)臺、納米級光束偏轉(zhuǎn)鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動/控制器、高精度微位移測量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。
