直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái) N63壓電掃描臺(tái)為二維XY軸掃描平臺(tái)，一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)原理，壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)8μm的掃描范圍，臺(tái)體高度僅為17mm，閉環(huán)版本具有超高的定位精度，適用于顯微掃描等應(yīng)用。
直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái)特性
• 二維XY向運(yùn)動(dòng)，zui大行程8μm/軸 • zui大承載3kg
• 臺(tái)體中心方形通孔，尺寸為Ø62mm • 內(nèi)置高性能壓電陶瓷
• 開環(huán)、閉環(huán)可選
| 外觀形狀 | 產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)示意圖 | 臺(tái)體采用直驅(qū)式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，出力大 |
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| 一體式超薄結(jié)構(gòu)、高分辨率、閉環(huán)精度高 | 頻率負(fù)載曲線 | 壓電陶瓷嵌套式一體結(jié)構(gòu) | |
| N63壓電掃描臺(tái)為XY二維平移掃描臺(tái)，平臺(tái)采用柔性鉸鏈導(dǎo)向壓電陶瓷直驅(qū)的機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，具有無間隙、無后坐力、無摩擦等特點(diǎn)，使其具有超高的分辨率達(dá)0.2nm。 可選擇內(nèi)置高性能傳感器實(shí)現(xiàn)8×8μm范圍內(nèi)超高的定位精度。 N63壓電掃描臺(tái)由于具有超薄的結(jié)構(gòu)，臺(tái)體僅為17mm，中心通孔非常便于與顯微鏡配套安裝。 |
| N63壓電掃描臺(tái)采用壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)原理，嵌套式機(jī)構(gòu)使其具有非常良好的動(dòng)態(tài)性能。
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| 平穩(wěn)和精確的掃描圓形驅(qū)動(dòng) |
| 精準(zhǔn)圓形驅(qū)動(dòng)控制，可以通過精切定位XY平臺(tái)的每一軸，采用正弦波90°相差輸入，也可以通過PID修正位移進(jìn)行調(diào)整，根據(jù)頻率幅值以及負(fù)載使得驅(qū)動(dòng)控制平穩(wěn)精確。 |
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應(yīng)用
• 圖像處理與穩(wěn)定 • 精密定位 •光學(xué)捕獲 • 掃描顯微 • 干涉/計(jì)量 • 半導(dǎo)體測試 • 表面檢測 • 光學(xué)計(jì)量 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術(shù) • 表面結(jié)構(gòu)分析
