壓電物鏡聚焦掃描平臺(tái)采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,且具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)磨損、免維護(hù)等特點(diǎn),聚焦行程可達(dá)560微米,壓電物鏡定位器內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,確保了壓電物鏡定位器具有的運(yùn)動(dòng)控制精度,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí),定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。
壓電物鏡聚焦掃描平臺(tái)產(chǎn)品應(yīng)用:
三維成像技術(shù) • 篩選 • 干涉 • 計(jì)量 • 磁盤驅(qū)動(dòng)器測(cè)試 • 自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng) • 共聚焦顯微鏡 • 半導(dǎo)體測(cè)試 • 生物技術(shù)
產(chǎn)品特點(diǎn):
◆ 外形尺寸:結(jié)構(gòu)緊湊,易于集成,靈活的螺紋轉(zhuǎn)接器,zui大螺紋接口M32;
◆ 采用無(wú)摩擦高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng),快速響應(yīng);
◆ 內(nèi)置高性能的壓電陶瓷,高可靠性;
◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,開/閉環(huán)可供選擇。
技術(shù)參數(shù):
標(biāo)識(shí)Identification | 型號(hào)Model | 描述Note |
5 | M25 X 0.75 | 目標(biāo)適配器 |
X | M26 X 1/36" | 目標(biāo)適配器 |
6 | M26 X 0.75 | 目標(biāo)適配器 |
7 | M27 X 0.75 | 目標(biāo)適配器 |
8 | W0.8X1/36" | 目標(biāo)適配器 |
②裝配環(huán)(顯微鏡適配器【選配】)
顯微鏡適配器
6 | M26 X 0.75 | 顯微鏡適配器 |
7 | M27 X 0.75 | 顯微鏡適配器 |
8 | W0.8X1/36" | 顯微鏡適配器 |
※除上述型號(hào)外的螺紋尺寸,請(qǐng)!