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CVD/PECVD系列管式電爐 電阻爐

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面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地天津市
  • 更新時間2022-10-01
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限1
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量75
  • 人氣值3438
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產(chǎn)地國產(chǎn) 加工定制
CVD/PECVD系列管式電爐等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)是利用輝光放電產(chǎn)生的等離子體中的電子動能去激活氣相的化學(xué)反應(yīng)。該系統(tǒng)由SK2-1200系列真空管式爐、石英反應(yīng)腔室、射頻電源、多通道混氣系統(tǒng)、真空機(jī)組、反應(yīng)控制系統(tǒng)組成。
CVD/PECVD系列管式電爐 電阻爐 產(chǎn)品詳情

CVD/PECVD系列管式電爐等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)是利用輝光放電產(chǎn)生的等離子體中的電子動能去激活氣相的化學(xué)反應(yīng)。該系統(tǒng)由SK2-1200系列真空管式爐、石英反應(yīng)腔室、射頻電源、多通道混氣系統(tǒng)、真空機(jī)組、反應(yīng)控制系統(tǒng)組成。

 

CVD/PECVD系列管式電爐設(shè)備特點(diǎn):
1、  利用輝光放電產(chǎn)生等離子體電子激活氣相;
2、  提高了氣相反應(yīng)的沉積速率、成膜質(zhì)量;
3、  可通過調(diào)整射頻電源頻率來控制沉積速率;
4、  能廣泛用于:石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生長
 

 

石英管Φ60/80/100mm L1400mm
加熱區(qū)尺寸440mm
恒溫區(qū)尺寸200mm
控溫模式采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能,并可編制30段升降溫程序。
升溫速率≤20℃min
極限溫度≤1200℃
長時間工作溫度≤1150℃
表面溫度< 60℃(1000℃保溫)
控溫精度±1℃
加熱元件電阻絲(0Cr27Al7Mo2)
密封及連接方式CF  KF  真空波紋管

 
質(zhì)量混氣系統(tǒng)

流量規(guī)格50sccm100sccm200sccm300sccm500sccm(可自選量程)
調(diào)節(jié)閥類型電磁調(diào)節(jié)閥
控制精度±0.2%F.S
工作壓差范圍(50~300)KPa
混氣罐尺寸Φ80×120mm
電功率AC220V/50HZ/20W

 
真空系統(tǒng)參數(shù)

低真空配置4L/S 機(jī)械泵  電阻真空計 真空波紋管 擋板閥
極限真空度:≤0.1Pa
高真空配置4L/S 機(jī)械泵  300L/S分子泵 復(fù)合真空計 真空波紋管 擋板閥 
極限真空度:≤1.3×10-4Pa

 
射頻電源系統(tǒng)

輸出功率5-300W   5-500W  (可選)
控制模式手動/PLC/PC
工作頻率13.56MHZ標(biāo)準(zhǔn)正弦波
供電電壓單相交流(190V~240V)
冷卻方式風(fēng)冷

參數(shù):

設(shè)備外形尺寸1800mm(長)*600mm(寬)*1390mm(高)
設(shè)備重量215KG

 

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箱式電阻爐NWTX-13 面議 武漢市 武漢庫爾特科技有限公司 2024-02-25 在線詢價
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