CVD/PECVD系列管式電爐等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)是利用輝光放電產(chǎn)生的等離子體中的電子動能去激活氣相的化學(xué)反應(yīng)。該系統(tǒng)由SK2-1200系列真空管式爐、石英反應(yīng)腔室、射頻電源、多通道混氣系統(tǒng)、真空機(jī)組、反應(yīng)控制系統(tǒng)組成。
CVD/PECVD系列管式電爐設(shè)備特點(diǎn):
1、 利用輝光放電產(chǎn)生等離子體電子激活氣相;
2、 提高了氣相反應(yīng)的沉積速率、成膜質(zhì)量;
3、 可通過調(diào)整射頻電源頻率來控制沉積速率;
4、 能廣泛用于:石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生長
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石英管 | Φ60/80/100mm L1400mm |
加熱區(qū)尺寸 | 440mm |
恒溫區(qū)尺寸 | 200mm |
控溫模式 | 采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能,并可編制30段升降溫程序。 |
升溫速率 | ≤20℃min |
極限溫度 | ≤1200℃ |
長時間工作溫度 | ≤1150℃ |
表面溫度 | < 60℃(1000℃保溫) |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲(0Cr27Al7Mo2) |
密封及連接方式 | CF KF 真空波紋管 |
質(zhì)量混氣系統(tǒng)
流量規(guī)格 | 50sccm100sccm200sccm300sccm500sccm(可自選量程) |
調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
控制精度 | ±0.2%F.S |
工作壓差范圍 | (50~300)KPa |
混氣罐尺寸 | Φ80×120mm |
電功率 | AC220V/50HZ/20W |
真空系統(tǒng)參數(shù)
低真空配置 | 4L/S 機(jī)械泵 電阻真空計 真空波紋管 擋板閥 極限真空度:≤0.1Pa |
高真空配置 | 4L/S 機(jī)械泵 300L/S分子泵 復(fù)合真空計 真空波紋管 擋板閥 極限真空度:≤1.3×10-4Pa |
射頻電源系統(tǒng)
輸出功率 | 5-300W 5-500W (可選) |
控制模式 | 手動/PLC/PC |
工作頻率 | 13.56MHZ標(biāo)準(zhǔn)正弦波 |
供電電壓 | 單相交流(190V~240V) |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
參數(shù):
設(shè)備外形尺寸 | 1800mm(長)*600mm(寬)*1390mm(高) |
設(shè)備重量 | 215KG |