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颐光科技注册于武汉东湖国家自主创新示范区，立足光谷，面向，为用户提供光学散射测量仪等系列产品，并提供仪器、软件、服务等综合解决方案。产品广泛应用于集成电路、半导体、光伏太阳能、平板显示、LED照明、存储、生物、医药、化学、电化学、光学镀膜和保护膜、减反膜、光刻材料等众多领域。

颐光科技充分利用武汉地区的交通便利和人才优势，立志成为中国*秀的光学仪器设备研发创新平台和产业化基地，立志成为企业值得信赖的合作伙伴。

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产地	国产	加工定制	是

原位监测椭偏仪IMS型是在科研级光谱椭偏仪的基础上，根据有机/无机镀膜工艺研究的需要研发的原位薄膜在线监测仪器，可用于金属薄膜、无机薄膜、有机薄膜的蒸镀、溅射等光学薄膜工艺过程的实时原位在线监测。

原位监测椭偏仪IMS型产品详情

原位监测椭偏仪IMS型

原位监测椭偏仪IMS型概述：

是在科研级光谱椭偏仪的基础上，根据有机/无机镀膜工艺研究的需要研发的原位薄膜在线监测仪器，可用于金属薄膜、无机薄膜、有机薄膜的蒸镀、溅射等光学薄膜工艺过程的实时原位在线监测。

特点：

椭偏仪|穆勒矩阵椭偏仪|膜厚仪|椭圆偏振光谱仪|薄膜厚度测量

◇ 基于科研级光谱/穆勒椭偏仪实现对工艺的原位在线监测

支持定制化 ME/SE 椭偏模块集成，可整合于企业各式苛刻生产环境；
实时原位在线监测生产工艺中薄膜厚度以及光学常数，整合线上资源，提高企业生产效率。

产品应用：

原位监测椭偏仪IMS 是应用于可用于金属薄膜、无机薄膜、有机薄膜的蒸镀、溅射等光学薄膜工艺过程的实时原位在线监测。

椭偏仪|穆勒矩阵椭偏仪|膜厚仪|椭圆偏振光谱仪|薄膜厚度测量

◇ 广泛应用可用于光学薄膜工艺过程的实时原位在线监测

技术参数：

基本功能	基于科研级光谱椭偏仪，对光学薄膜工艺过程的实时原位在线监测
光谱范围	245-1000nm（可扩展到1700nm）
测量时间	<1s(光谱型) <5s(穆勒型)
入射角范围	45-90°
光斑尺寸	2-3mm
重复精度	0.05nm（100nm SiO₂/Si）

关键词：椭偏仪在线监测仪

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