自动光谱椭偏仪SE-L型
自动光谱椭偏仪SE-L型概述：
是一款科研级全自动高精度光谱椭偏仪，集众多颐光 科技技术于一体，采用行业前沿创新技术，配置全自动测量 模块。通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量，快速实现光 学参数薄膜和纳米结构的表征分析。 ——————————————————————————
产品特点：
产品应用： SE-L 型光谱椭偏仪广泛应用于镀膜工艺控制、tooling校正等测量应用, 实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析： 1、 半导体：半导体薄膜结构（如：介电薄膜、金属薄膜、高分子、光刻胶、硅、PZT膜，激光二极管GaN和AlGaN、透明的电子器件等），半导体周期性纳米结构（如纳米光栅，套刻误差，T型相变存储器等）； 2、 平板显示：TFT、OLED、等离子显示板、柔性显示板等； 3、 光伏太阳能：光伏材料（如Si3N4、Sb2Se3、Sb2S3、CdS等）反射率，消光系数测量，膜层厚度及表面粗糙度测量等； 4、 生物和化学工程：有机薄膜、LB膜、SAM膜、蛋白子分子层、薄膜吸附、表面改性处理等。 5、 块状材料分析：固体（金属、半导体、介质等）或液体（纯净物或混合物）的折射率n和消光系数k表征，玻璃新品研发和质量控制等。
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