全自动Mapping光谱椭偏仪SE-100A
全自动Mapping光谱椭偏仪SE-100A概述
是全自动高精度Mapping绘制化测量光谱椭偏仪，集众多颐光科技技术于一体，采用行业前沿创新技术，配置全自动模块技术：自动变角模块，自动找焦模块，自动Mapping测量模块。通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量，快速实现薄膜全基片膜厚以及光学参数自定义绘制化测量表征分析。 ——————————————————————————
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产品特点：
采用高强度卤素灯光源，光谱覆盖可见光到近红外范围（支持扩展至210-1700nm）；
高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集；
基于行业电机控制技术，全自动调整测量角度，高精度控制样件台，实现样件快速自动对准找焦；
自动Mapping绘制化测量技术 ；
数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料；
强大软件应用分析能力，针对半导体、集成电路、新型平板显示、薄膜光伏等领域中材料的厚度、光学常数、结构信息等数据通过建模拟合进行全面的快速分析；
产品应用
SE-100A全自动Mapping系列光谱椭偏仪 广泛应用于镀膜工艺控制、tooling校正等测量应用,实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析：
