微小型熱式氣體質(zhì)量流量計，主要應用于輕工、化工、環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。
二、微小型熱式氣體質(zhì)量流量計技術(shù)參數(shù)
2.1測量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）
2.2流量范圍：DN330-300ml/min
DN660-600ml/min
DN880-800ml/min
DN10100-1000ml/min
注：(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言；
(b)以上流量的標準狀態(tài)20℃，101.325kPa。
(c)每個口徑量程范圍均可擴大
(d)特殊需要可廠家單獨標定
2.3流量測量準確度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4工作溫度范圍：0-55℃；
2.5工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6供電電源：24VDC±10%；
2.7輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
2.8環(huán)境溫度：0-55℃；
2.9顯示位數(shù)：瞬時流量為三位，累積流量10位。
三、微小型熱式氣體質(zhì)量流量計工作原理
感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作，保證傳感器的高度*，解決了：“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計無法保證其傳感器的電阻值的*性，導致傳感器在各個法線方向熱傳導速度的差異，所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計在傳感器校準和使用過程中產(chǎn)品穩(wěn)大定性存在問題，實際應用中的熱式質(zhì)量流量計價格昂貴，大規(guī)模應用比較難”的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計，同時可靠性穩(wěn)定,安全性更好。
在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導，使動態(tài)響應時間大大提高。當傳感器工作時，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計算：
式中：氣體流動方向為ｘ，速度為ｖ，ａ為擴散率。
如上圖（式）所示，當氣體流過芯片時，將會帶走熱量，通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應關(guān)系來計算流體的質(zhì)量流量。
四、微小型熱式氣體質(zhì)量流量計產(chǎn)品特點
1、產(chǎn)品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門。
2、μf微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù)，使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升。
3、微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化。
4、單個芯片的流量特性的微處理技術(shù)，使流量計的量程范圍大大提高。
5、機電一體化優(yōu)化設計，智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù)，使流量計具有更好的重復性，實現(xiàn)了計量的準確、可靠。
6、結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，MFM流量計的壓力損失達到zui小化。
7、采用的MF傳感技術(shù)，使流量計工作更穩(wěn)定、可靠。
8、*零點自校功能，測量更準確。
9、多種氣體實際標定，全量程補償。
10、快速響應、數(shù)據(jù)自動存儲，配合上位機可實現(xiàn)網(wǎng)絡集中管理。
11、規(guī)格齊全，量程范圍寬，可根據(jù)用戶要求單獨標定。
12、精度等級高，滿足用戶高精度測量要求。
13、*的流量計報警功能，使監(jiān)控更可靠。
14、操作、設置界面友好、簡便，可根據(jù)需要自行設定相關(guān)參數(shù)。
15、運用行業(yè)多，是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的*。
五、產(chǎn)品分類與命名
微氣體質(zhì)量流量計的型號命名
MF? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | |
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接頭類型
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0：普通
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1：Swagelok接頭 | ||
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2：其他 | ||
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連接形式
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0：快速接頭 | |
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1：法蘭式 | |||
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標定方式
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0：空氣 | ||
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1：氫氣 | |||
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2：氧氣 | |||
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3：氮氣 | ||||
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品種
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01：有顯示；有485通訊口；有4-20mA輸出 | |||
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02：有顯示；有485通訊口；無4-20mA輸出 | ||||
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03：有顯示；無485通訊口；有4-20mA輸出 | ||||
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04：有顯示；無485通訊口；無4-20mA輸出 | ||||
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05：無顯示；有485通訊口；無4-20mA輸出 | ||||
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06：無顯示；無485通訊口；有4-20mA輸出 | ||||
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材質(zhì)
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0：304不銹鋼 | ||||
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1：316不銹鋼 | |||||
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2：316L不銹鋼 | |||||
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3：鋁 | |||||
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4：其他 | |||||
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壓力
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0：≤0.3Mpa | |||||
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1：≤0.6Mpa | ||||||
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2：≤1.0Mpa | ||||||
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被測介質(zhì) | |||||||
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流量范圍 | ||||||||
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產(chǎn)品通徑
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03：DN3 | ||||||||
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06：DN6 | |||||||||
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08：DN8 | |||||||||
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10：DN10 | |||||||||
產(chǎn)品類型
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M：質(zhì)量流量計 | |||||||||
C：質(zhì)量流量控制器 | ||||||||||
六、安裝與接線
7.1安裝注意事項
安裝時必須注意場合，不能安裝于管路有雜質(zhì)的地方；
安裝時應使流量計上的流向標志所示方向與流體流動方向*；
7.2上游管道應有10D（D為管道內(nèi)徑）的直管段，下游應有5D的后直管；
7.3儀表安裝處的管道內(nèi)應光滑清潔，無突出，流量調(diào)節(jié)閥應安裝在流量計的下游；
7.4儀表水平安裝，安裝使用中嚴防漏氣
