超純水電導(dǎo)率≤0.055μS/cm@25℃; 電阻率:18.25ΜΩ·cm@25℃
微粒子(大于0.01μm)含量:﹤1/ml 熱源含量:﹤0.001Eu/ml
微生物含量:﹤1cfu/ml 總有機(jī)碳量:TOC≤1ppb
金屬陽離子含量(單位ppb):
Fe(鐵) ﹤0.005 Cu(銅) ﹤0.005 Al(鋁) ﹤0.005 Ni(鎳) ﹤0.005
Zn(鋅) ﹤0.02 Cr(鉻) ﹤0.005 Na(鈉) ﹤0.01 K(鉀) ﹤0.02
陰離子含量(單位ppb):
Clˉ(氯) ﹤0.01 NO2ˉ(亞硝酸根) ﹤0.02
NO3ˉ(硝酸根) ﹤0.02 SO42ˉ(硫酸根) ﹤0.01