永佳-135℃水汽捕集泵 -135℃ Water vapor cryopump
（提供polycold冷媒及維修）
水汽捕集泵 又稱：POLYCOLD、快速循環(huán)水汽深冷泵
應(yīng)用原理:
在使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點(diǎn)的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低，時(shí)間長，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇。
深冷泵的工作原理：將一個(gè)能到-120℃以下的制冷盤管，放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時(shí)間（可縮短60-90%的抽氣時(shí)間）、獲得潔凈的真空環(huán)境（真空度可提高半個(gè)數(shù)量級(jí)，達(dá)到10-8 Torr、10-5 Pa)。
在實(shí)際應(yīng)用當(dāng)中，根據(jù)所放的位置不同可以分為兩類（見圖）：
1、水汽捕集器
它的制冷盤管經(jīng)常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內(nèi)、卷繞鍍膜上下室內(nèi)等部位。適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場(chǎng)合。盤管需要有加熱除霜裝置，使盤管每次開門之前恢復(fù)到常溫，避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結(jié)霜，影響下次抽真空。
2、低溫冷阱
放在油擴(kuò)散泵的泵口，高閥以下，它主要功能是防止油擴(kuò)散泵返油，同時(shí)也可以加快抽速、提高真空度。由于系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，無需除霜裝置。
根據(jù)需要,二者可以分別安裝也可以同時(shí)安裝.
永佳真空深冷機(jī)不同型號(hào)規(guī)格
型 號(hào) | ZK-1100D12 | ZK-1100D16 | ZK-1100D16L | ZK-1100D18 | ZK-1100D18L | ||||
功率（KW） | 10 | 14 | 14 | 18 | 18 | ||||
zui大制冷量（W）（-100℃） | 2000 | 3000 | 3000 | 4000 | 4000 | ||||
電 源 | 380V，50HZ | ||||||||
抽速L/S | 149200 | 238200 | 238200 | 372500 | 282000 | ||||
預(yù)冷時(shí)間（min） | 30 | ||||||||
除霜時(shí)間（min） | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤4 | ≤4 | ||||
再降溫時(shí)間（min） | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ||||
低溫管表面積（㎡） | 1 | 1.8 | 1.5 | 2.5 | 2 | ||||
低溫管規(guī)格 | 20m | 38m | 雙路15m | 50m | 雙路20m | ||||
冷卻方式 | 水冷，水溫≤30℃ | ||||||||
冷水流量（t/h） | 1.6 | 2.5 | 2.5 | 3 | 3 | ||||
冷水接口尺寸（mm） | 16 | 16 | 16 | 19 | 19 | ||||
需冷水機(jī)功率（HP） | 5 | 8 | 8 | 10 | 10 | ||||
適用油泵直徑（mm） | ≤800 | ≤900 | ≤600 | 1000或1200 | ≤800 | ||||
適用真空腔室直徑（mm） | ≤1300 | ≤1500 | ≤1000 | ≤1800 | ≤1500 | ||||
永佳真空深冷機(jī)適用領(lǐng)域：
1半導(dǎo)體 2太陽能薄膜制程 3光纖市場(chǎng) 4平板顯示 5裝飾鍍膜、卷繞鍍膜、光學(xué)鍍膜
北京德馨永嘉公司研發(fā)生產(chǎn)的-135℃深冷，采用單臺(tái)壓縮機(jī)、自動(dòng)復(fù)疊制冷方式、進(jìn)口壓縮機(jī)及制冷配件、環(huán)?；旌闲椭评鋭┥a(chǎn)，替代液氮，節(jié)約成本。具有制冷速度快、效率高、溫度低、維護(hù)方便等特點(diǎn)，其性能指標(biāo)在國內(nèi)處于地位，達(dá)到甚至超過*水平。
