特點(diǎn):
1. 真正的非接觸式三維測量
2. 測量輪廓臺階高度范圍從小于1nm到高達(dá)10mm
3. 基于白光干涉的高精度定量共焦模式,自動調(diào)焦,垂直分辨率高達(dá)0.1nm
4. 高速掃描,無須制樣,無須真空,金屬非金屬均可,快速直觀,操作方便
5. *的綜合圖象處理軟件,致力于采集,分析,統(tǒng)計(jì)和可視化數(shù)據(jù)處理等
強(qiáng)大的軟件功能:
SPIP提供了二維分析、三維分析、表面紋理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、體積、角度計(jì)算、曲率計(jì)算、模擬一維分析、數(shù)據(jù)輸出、數(shù)據(jù)自動動態(tài)存儲、自定義數(shù)據(jù)顯示格式等。綜合繪圖軟件可以采集、分析、處理和可視化數(shù)據(jù)。表面統(tǒng)計(jì)的計(jì)算包括峰值和谷值分析?;诟盗⑷~變換的空間過濾工具使得高通、低通、通頻帶和帶阻能濾波器變的容易。多項(xiàng)式配置、數(shù)據(jù)配置、掃描、屏蔽和插值, 交互縮放。X-Y和線段剖面。三維線路、混合和固定繪圖。
主要技術(shù)參數(shù)
物鏡倍數(shù): 50x,20x,10x,5x任意可選,zui多可同時(shí)搭載6枚物鏡
垂直分辨率 0.1nm, 0.02nm(高精度模式)
CCD相機(jī)像素:1024×1024
掃描范圍: 150mm x 150mm