產(chǎn)品簡介 GDSKDY-1L型四探針電阻率測試儀是我公司嚴(yán)格按照硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計制造,并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進(jìn)。整套儀器有如下特點(diǎn) 1、配有雙數(shù)字表:一塊數(shù)字表在測量顯示硅片電阻率的同時,另一塊數(shù)字表(以之幾的精度)適時監(jiān)測過程中的電流變化,使操作簡便,測量。 數(shù)字電壓表量程:0—199.99mV 靈敏度:10μV 輸入阻抗:1000ΜΩ 基本誤差±(0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度) 2、可測電阻率范圍:0.00001 —1990Ω·cm。 可測方塊電阻范圍:0.0001—19000Ω/□。 3、設(shè)有電壓表自動復(fù)零功能,當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,1、4探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對測量的干擾。 4、流經(jīng)硅片的測量電流由高度穩(wěn)定(之五精度)的恒流源提供,不受氣候條件的影響,整機(jī)測量精度<3%。 電流量程分五檔:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。 5、儀器采用觸點(diǎn)電阻低(<5mΩ)、使用壽命長的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器(>10),在緣電阻、電流容量方面留有大的系數(shù),提高了測試儀的性和使用壽命。 6、可加配HQ-710E微處理機(jī)及打印機(jī),實(shí)現(xiàn)自動換向測量、求平均值,計算并打印電阻率Z大值、Z小值、Z大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。 7、可加配電腦,使用軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)采集,實(shí)現(xiàn)自動換向測量、存儲,求平均值,Z大值、Z小值、Z大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。 8、可配KDDJ-2電動測試架,自動上下運(yùn)行,使測量方便快捷。 9、四探針頭采用上的紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu),使探針的游移率減小,測量重復(fù)性提高 |