氣體流量傳感器是一種把被測的機械量轉(zhuǎn)換為電容量改動的傳感器。它的靈敏部分便是具有可變參數(shù)的電容器。氣體流量傳感器可分為極距改動型、面積改動型、介質(zhì)改動型三類。

 

    極距改動型一般用來測量微小的線位移或因為力、壓力、振蕩等引起的極距改動。面積改動型一般用于測量角位移或較大的線位移。介質(zhì)改動型常用于物位測量和各種介質(zhì)的溫度、密度、濕度的測定。

 

    氣體流量傳感器作業(yè)原理氣體流量傳感器的電容檢測元件是根據(jù)圓筒形電容器原理進(jìn)行作業(yè)的，電容器由兩個絕緣的同軸圓柱極板內(nèi)電極和外電極組成，在兩筒之間充以介電常數(shù)為e的電解質(zhì)時，兩圓筒間的電容量為C=2∏eL/lnD/d,式中L為兩筒彼此重合部分的長度；D為外筒電極的直徑；d為內(nèi)筒電極的直徑；e為中心介質(zhì)的電介常數(shù)。在實際測量中D、d、e是根本不變的，所以氣體流量傳感器具有使用方便，結(jié)構(gòu)簡略和靈敏度高級特色。

 

    氣體流量傳感器作業(yè)原理--優(yōu)缺陷電容器傳感器的優(yōu)點是結(jié)構(gòu)簡略，價格便宜，靈敏度高，過載能力強，動態(tài)呼應(yīng)特性好和對高溫、輻射、強振等惡劣條件的適應(yīng)性強等。缺陷是輸出有非線性，寄生電容和分布電容對靈敏度和測量精度的影響較大，以及聯(lián)接電路較復(fù)雜等。

 

    70年代末以來，跟著集成電路技能的發(fā)展，出現(xiàn)了與微型測量儀表封裝在一起的氣體流量傳感器。這種新式的傳感器能使分布電容的影響大為減小，使其固有的缺陷得到戰(zhàn)勝。氣體流量傳感器是一種用處極廣，很有發(fā)展?jié)摿Φ膫鞲衅鳌?/div>