導(dǎo)讀：作為世界的離子束技術(shù)和系統(tǒng)制造商，牛津儀器等離子部的應(yīng)用和技術(shù)團隊會定期發(fā)布技術(shù)白皮書，現(xiàn)在版的離子束蝕刻白皮書已經(jīng)面世。
　　
　　本期白皮書由公司的離子束應(yīng)用技術(shù)專家SebastienPochon博士和DavePearson博士執(zhí)筆，全面介紹了離子束蝕刻技術(shù)并闡述了其在蝕刻工藝中的主要應(yīng)用和優(yōu)勢（例如與等離子蝕刻對比）。白皮書首先綜述了離子束zui初是如何產(chǎn)生的，而后又介紹并討論了離子束技術(shù)的工藝應(yīng)用。
　　　　
　　牛津儀器等離子技術(shù)部應(yīng)用團隊RobertGunn這樣評價道：“我們的應(yīng)用工程師團隊和技術(shù)人員不斷地在他們專業(yè)領(lǐng)域探索研究，以求為客戶提供的離子束和等離子系統(tǒng);提供更多像這本白皮書一樣的技術(shù)資料，此外我們還擁有數(shù)量超過6000份的工藝資料庫”
　　
　　作為世界的離子束技術(shù)和系統(tǒng)制造商，我們提供的離子束工具包括Ionfab300Plus，該設(shè)備有充分的靈活性進行刻蝕和/或沉積，并實現(xiàn)系統(tǒng)利用率zui大化;Ionfab500Plus專為高品質(zhì)光學(xué)薄膜設(shè)計;Optofab3000特別為高品質(zhì)光學(xué)應(yīng)用而開發(fā)。